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PS系列

二手汉钟PS系列真空泵


气体传输路径最短,显著减少反应物沉积风险

适用于含粉尘、易凝结气体的严苛制程(如PECVD、蚀刻)

专利转子线型设计:大啮合间隙实现高密封性,提升抽气效率

抗磨损优势:间隙设计降低因沉积物卡死转子的概率,延长转子寿命

单对转子啮合结构:无中间隔板设计,避免沉积卡死风险

快速拆装维修:结构单纯化使故障排查和部件更换效率提升30%以上

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