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PRC-012A

爱发科PRC-012A是一款专为高洁净度要求应用设计的机械增压泵,适用于半导体和液晶制造等工艺。以下是其主要特点:
  • 无油设计:泵腔内无润滑油,避免油污染,适用于水蒸气、溶剂等蒸汽环境

  • 高耐腐蚀性:关键部件采用阳极氧化处理,提高表面硬度和耐腐蚀性,减少内部损伤

  • 高效排气:可与粗抽泵同步启动,缩短排气时间,提高抽气效率

  • 密封电机:采用屏蔽电机,无需机械密封,防止漏油,适用于清洁环境


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