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LR90

LR90日本ULVAC公司生产的多级罗茨干式真空泵,具有高抽速、低功耗、耐腐蚀性强等特点,广泛应用于半导体、平板显示器、光伏等高科技领域

核心技术特点

  • 干式设计:泵腔内无需润滑油,避免油污染,适用于洁净度要求高的工艺

  • 高抽速:50Hz时有效抽速为112m³/h(1860L/min),60Hz时为126m³/h(2100L/min)

  • 低功耗:电机功率720W,功耗低,节能环保

  • 耐腐蚀性:主要部件采用特殊表面处理,提高耐腐蚀性

  • 无滑动部件:减少磨损,延长使用寿命

  • 瞬停功能:1000毫秒内实现瞬时停止,提高生产效率


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