LR90
爱发科LR90是日本ULVAC公司生产的多级罗茨干式真空泵,具有高抽速、低功耗、耐腐蚀性强等特点,广泛应用于半导体、平板显示器、光伏等高科技领域1
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核心技术特点
干式设计:泵腔内无需润滑油,避免油污染,适用于洁净度要求高的工艺1
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高抽速:50Hz时有效抽速为112m³/h(1860L/min),60Hz时为126m³/h(2100L/min)2
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低功耗:电机功率720W,功耗低,节能环保1
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耐腐蚀性:主要部件采用特殊表面处理,提高耐腐蚀性2
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无滑动部件:减少磨损,延长使用寿命1
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瞬停功能:1000毫秒内实现瞬时停止,提高生产效率