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产品实拍 技能参数 应用领域
类型:涡轮分子泵(Turbomolecular Pump)
额定抽速:具体数值需查阅产品资料(参考同类产品,如普发HiPace系列,抽速通常在300~2300 L/s之间)
极限压力:可达5×10⁻² mbar或更高
适用于高真空及超高真空环境,如半导体制造、镀膜设备、分析仪器等
特点:结构紧凑、可作为涡轮泵与前级泵(如旋片泵)组合使用,适合高洁净无油真空工艺