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产品实拍 技能参数 应用领域
类型:氦质谱检漏仪(干式真空泵组合,涡轮分子泵 + 多级罗茨泵)
氦气抽速:10 L/s
粗加工能力:35 m³/h
最小检测漏率(真空模式):1×10⁻¹² mbar·L/s
最小检测漏率(吸枪模式):1×10⁻⁸ mbar·L/s
极限压力:≤ 55 dB(A)(噪音水平)
启动时间:< 2 min(无校准,20°C环境)
响应时间:< 1 s
前级泵类型:多级罗茨真空泵
半导体、显示器、航天、医药、电子元器件、真空管件等